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クリーナー主要な製品概要

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液 晶

LCDカラーフィルター用の現(xiàn)像に最適な現(xiàn)像液をラインナップ。獨(dú)自の配合技術(shù)により、細(xì)線BM現(xiàn)像に対しても良好な現(xiàn)像性を?qū)g現(xiàn)。
（1）HAC：LCDカラーフィルターのRGBレジスト用 活性剤配合のネガレジスト現(xiàn)像液です。界面活性剤効果により細(xì)線現(xiàn)像や幅広い現(xiàn)像マージンを?qū)g現(xiàn)可能。
（2）DX：RGB用活性剤配合のネガレジスト現(xiàn)像液です。高濃縮タイプのため、優(yōu)れた現(xiàn)像性能?薬液使用量の削減が可能となります。有機(jī)アルカリタイプのため、金屬へのダメージが少なく、COA （Color Filter On Array）プロセスも対応可能です。

剝離性の強(qiáng)いリワーク再生剝離液です。ガラスに対するダメージが少なく、RGB,BM,UV cure/Heat cure OC, PS用レジストに対応可能です。

有機(jī)系洗浄液で、油分?研磨材?ダストなどの汚れを除去可能な製品です。

半 導(dǎo) 體
高精細(xì)なフォトリソグラフィプロセスに対応した、各種現(xiàn)像液、剝離液をランナップしています。その他にも、WLPプロセスで用いられる厚膜ネガレジストやドライフィルムレジスト用剝離液、ドライエッチング殘?jiān)ヒ氦胜嗓猊楗ぅ螗圣氓驻筏皮辘蓼?。各種法規(guī)制に対応した製品、NMP非含有製品など環(huán)境に配慮した薬液をご提案可能です。

NK disperse UTシリーズ現(xiàn)像液
半導(dǎo)體、ディスクリートに使用される有機(jī)アルカリ?活性剤配合タイプのネガ?ポジレジスト用現(xiàn)像液です。カラーレジストやPIレンズなどネガ、ポジ両方の現(xiàn)像に対応しており、様々なプロセスに対して適用可能です。レジスト分散性に優(yōu)れた活性剤を選定し、パターン上にレジスト殘?jiān)驓垽丹骸⒓婴à匹欹弗攻绕鹨颏挝⒓?xì)泡を消泡させる効果を有するため、次工程へ移行することが可能です。
NK poleveシリーズレジスト剝離液
（1）汎用レジスト剝離液
         NK poleve 517
         NK poleve PRS100
一般的な液體レジスト用剝離液
（2）高機(jī)能レジスト剝離液
         NK  poleve 496
         NK  poleve 480 
DRIEプロセスにある変性レジストや厚膜レジストに対応可能。
（3）ドライフィルム用剝離液
         NK poleve 117
         NK poleve SH
ドライフィルム専用剝離液。